德国NanoPhotonics公司表面缺陷检测系统
REFLEX TT 桌上型手动加载晶片和掩模板检测系统
产品概述
德国NanoPhotonics公司成立于1997年，其设备主要用于半导体生产中晶圆、裸芯片、掩模板等的表面，边缘，背面的沉积材料及基片的缺陷探测，可用于基板如检测掩模板（光罩）上的颗粒、划痕、缺陷、微米级粗糙度等。

REFLEX TT桌面型表面缺陷检测系统是一个手动装载的激光暗场检测系统。它专门设计用来检测无图形晶圆上的颗粒、划痕、缺陷位置和微米级粗糙度。其基底夹具可以满足从2英寸到12英寸晶圆的需要。RELEX 450可以检测18英寸晶圆。REFLEX TT MB专门设计用于掩模板的检测。

简单的操作和友好的软件界面，使得REFLEX TT检测系统成为一种多功能的检测工具，是一款理想的支持工艺开发和质量控制的研发、实验室环境的检测设备。

产品特点
REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统
1． 灵敏度低于65 nm
2． 激光暗场测试技术
3． 1级独立的小环境
4． 可选晶圆工作台
5． 离线式分析
6． 自动缺陷分类软件
优势
1． 工艺开发的理想工具
2． 友好的用户操作和GUI
3． 多中应用
4． 小占地面积
5． 低成本

技术参数
可选夹具：
适用于2-6英寸晶片的真空卡盘
适用于6-18英寸晶片的真空卡盘
适用于3-8英寸的透明晶片的边缘夹爪
适用于2.5x2.5英寸—8×8英寸掩模板的边缘夹爪
扫描时间（6英寸晶片）：小于40秒（150nm缺陷）
小于63秒（90nm缺陷）
边缘去除：真空卡盘2mm
边缘夹持系统4mm
重复性：3%（1σ>1000颗粒子）
洁净室级别：内部<10(ISO4)
环境<10.000(ISO7)
系统安全保证：CE
激光等级：1级

应用材料
硅片、掩模板、玻璃、复合半导体材料、硅上透明薄膜、金属薄膜、非晶硅、多晶硅、OLED等